“Flexible Silicon Triaxial Tactile Imager with Integrated 800µm-Pitch Sensor Pixel Structures on a Diaphragm,”
Proceedings of IEEE Sensors2011 Conference, pp. 663-666, Limerick Ireland, Oct. 28-31, 2011.
PUBLICATIONS
2011年の研究業績
高尾英邦の2011年の論文・著書・講演等を掲載しています。
全査読付き国際会議論文9件
“A Venturi-type Micro Mist Generator Fabricated by MEMS Technology and Its Application to Local Surface Cooling of Target Objects”,
Proceedings of 24th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2011) , 2pages in CD-ROM, ANA Hotel Kyoto, Japan, October 24-27, 2011.
“In-pixel type small-scale integrated ”C-V converter with chopper stabilized CMOS inverter”,
Proceedings of 2011 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2011), GH-2-3, pp. 1039-1040, Sept. 28-30, Nagoya, Japan, 2011.
“Fabrication and evaluation of polymer MEMS mirror based on the mechanical characteristic of polymer containing magnetic particles”
Proceedings of 16th International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics (optical-MEMS2011), 2pages in CD-ROM, PO8-10011780, Aug.8-11, Istanbul, Turkey, 2011.
“Design and Fabrication of polymer MEMS Mirror Based on the Mechanical Characteristic Evaluation of Polyimide Materials”
Proceedings of 16th International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics (optical-MEMS2011), 2pages in CD-ROM, P012-10016921, Aug.8-11, Istanbul, Turkey, 2011.
“Zero Temperature Coefficient Gas-Seald Pressure Sensor Using Mechanical Temperature Compensation”,
Digest of Technical papers of the 16th International Conference on Sensors, Actuators, and Microsystems (IEEE Transducers’ 11), pp. 116-119, June 5-9, Beijing, China, 2011.
”Fabrication of a Magnetically-Driven Microstructure Made of Magnetic Nanoparticles/SU-8 Composite”
Proceedings of the 6th International Conference on Microtechnologies in Medicine and Biology (MMB2011) , pp.74-75, May 4-6, Lucerne Switzerland, 2011.
“Crystalline Anisotropic Dry Etching for Single Crystal Silicon”
Proceedings of The 24th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (IEEE MEMS2011), pp. 608-611, Jan.23-27, Cancun Mexico, 2011.
“Micro Fluidic Circuit Design with “SPICE Simulation”,
Proceedings of The 24th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (IEEE MEMS2011), pp. 608-611, Jan.23-27, Cancun Mexico, 2011.
著書1件
Electronic Journal Archives No. 186
センサ・CMOS集積化技術★徹底解説, 全76ページ
（株）電子ジャーナル，2011年9月出版
総説1件
“皮膚感覚の超越をめざすシリコン集積化触覚イメージャー”
電子情報通信学会誌 , Vol. 94, No.6, pp.470-474, 2011年6月.
国内招待講演7件
基調講演 “MEMS/CMOS集積化技術の過去・現在・未来～ デバイス技術と設計技術の変遷 ～”
デザインガイア2011 -VLSI設計の新しい大地-，ニューウェルシティ宮崎，2011年11月
“LSIと高密度実装技術から見た異種機能集積技術への期待と課題”
デザインガイア2011 -VLSI設計の新しい大地-パネルセッション講演，ニューウェルシティ宮崎，2011年11月
“集積化アレイセンサ関連・その他”
MEMS技術分科会主催Transducers’11報告会，兵庫県立大学，2011年7月
“センサ・CMOS集積化技術徹底解説”
Electronic Journal 第841回 Technical Seminar，総評会館，2011年7月
“センサ技術は明日の機械の夢を見るか？”
第二回インテレクチュアル・カフェ ，産業技術総合研究所四国センター，2011年5月
“集積化センサ技術とその実用例－そのポテンシャルを活かす回路と集積化の勘所”
日経エレクトロニクスNEアカデミー，Biz新宿, 2011年4月
“ナノ時代におけるCMOS集積化MEMS技術の現状と展望”
次世代ナノ技術に関する研究専門委員会主催研究会「異種要素の集積化技術」，早稲田大学理工学術院，2011年1月